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超凈工作臺配套高效過濾器測試操作規程

1準備工作

卸下高效過濾器的散流板，對箱體和框架的外表面進行清潔，避免積塵對檢測產生干擾。

關閉潔凈室（區）的防火報警裝置，避免測試期間因煙霧泄漏造成誤會。

確定上游濃度驗證孔。

準備好惰性氣體的氣源（通常使用氮氣或者壓縮空氣）。

高效過濾器的完整性測試文章參考：http://www.knkmdask.cn/article/20120430224152.html

2氣溶膠煙霧的引入

    向4B氣溶膠發生器中加入適量PAO液體，連接氣源，找到風機的吸風口處，通過發煙管直接將氣溶膠通過吸風口送到高效過濾器上游；打開發生器開關，打開氣源，氣源壓力調到20psig－30psig,調節氣溶膠煙霧的輸出量。

3　0基準和100%基準的設定

確認光度計選擇閥處在CLEAR的位置。將電源開關設置到1（On）的位置，按ENTER鍵，設置零基準線。

采樣管穿過驗證孔，一端與上游（高效過濾器進風側）采樣口連接，另一端與氣溶膠光度計接通。光度計選擇閥撥到UPSTREAM位置，測定上游氣溶膠濃度。調節氣溶膠發生器輸出閥的開合度，直至確認上游濃度達到20-80μg/L，并保持相對穩定。按100鍵，然后按ENTER鍵，設定100%基準。

100%基準線成功設置之后，＜0＞指示燈將閃爍，表明0%基準線必須進行校正。將選擇閥設置到CLEAR，并按ENTER鍵，0%基準線得到校正。

4光度計掃描

選擇閥轉向＜DOWNSTREAM＞，將矩形采樣頭與光度計連接，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架間進行掃描。掃描速率＝15÷掃描探頭垂直掃描方向的尺寸。

掃描時速度約2cm/s，掃描按直線來回往復地進行，掃描的覆蓋面之間略有重疊。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器周邊、過濾器邊框與安裝架構之間的密封處及安裝架構的結合點。

任何等于或大于已指定限值的跡象時，都應將掃描探頭在相應位置持續相當時間，憑借該位置較長時間內顯示的最大值做出判斷。

原始記錄上畫出示意圖，標明泄漏位置和最大泄漏值。

注意：掃描過程中避免箱體上的積灰干擾，采樣頭不能碰到高效風口箱體或過濾器的框架。

在掃描工作中間及最后，核查上游氣溶膠濃度，以確定其穩定性。當上游氣溶膠濃度變化超過±15%時，重新設定100%基準，并追溯檢查。